في عالم تكنولوجيا أشباه الموصلات المتطورة، تعتبر عملية الطباعة الضوئية (Lithography) عنصراً أساسياً لضمان جودة المنتج وأدائه. لكن التحديات الموجودة حالياً في العملية، مثل تحسين القوالب (Mask Optimization) والتصوير البصري (Optical Imaging)، تجعل من الصعب تنفيذ تلك العمليات بشكل فعال. لهذا السبب، تم تقديم LithoDreamer، النموذج الأول من نوعه الذي يدمج الفيزياء في عملية الطباعة الضوئية.

LithoDreamer يعتمد على نموذج عالم (World Model) يحل معادلة "مخطط القالب - صورة القالب - صورة بعد التطوير (ADI)" كمنظومة متطورة متعددة الخطوات قائمة على القرار. هذا النموذج يلتقط التغيرات بين الحالات المتجاورة لتشكيل فضاءات خفية تعتمد على الفيزياء الخاصة بكل مرحلة، مما يتيح التحكم في استكشاف التدخلات العملية وتقديم الانتقالات التالية في الحالة.

لتجنب الحاجة إلى إشراف دائم ولتحقيق تحسينات تفسيرية، يقترح فريق البحث نمط تحسين متباين يعتمد على تباين الاختلافات بين مسارات التدخل مع قيود التطور المتغيرة. هذه الطريقة ترشد النموذج لتوليد تطورات تتماشى مع فيزياء الطباعة الضوئية الحقيقية.

تظهر التجارب أن LithoDreamer يحقق أداءً رائداً في التطور الأمامي والتخطيط العكسي، مما يجعله إضافة قيمة للتكنولوجيا الحديثة. للمزيد من المعلومات، يمكنك زيارة مجموعة البيانات الخاصة بالطباعة الضوئية التي تم نشرها على GitHub.